內容提要：
熱式氣體流量計的測量探頭有兩個(gè)傳感器：一個(gè)是溫度傳感器，一個(gè)是速度傳感器，兩個(gè)傳感器都是基準級鉑電阻傳感器。鉑電阻固定在密封、堅固的不銹鋼套管中，在測量電路中它們也作為測量橋路的兩個(gè)臂，溫度傳感器在工作中測量被測氣體的溫度，它作為參比溫度，而速度傳感器被加熱，并使其被加熱的溫度和參比溫度有一固定……
熱式氣體流量計的測量探頭有兩個(gè)傳感器：一個(gè)是溫度傳感器，一個(gè)是速度傳感器，兩個(gè)傳感器都是基準級鉑電阻傳感器。鉑電阻固定在密封、堅固的不銹鋼套管中，在測量電路中它們也作為測量橋路的兩個(gè)臂，溫度傳感器在工作中測量被測氣體的溫度，它作為參比溫度，而速度傳感器被加熱，并使其被加熱的溫度和參比溫度有一固定的溫差，當參比溫度變化，則溫差也隨著(zhù)變化，可以通過(guò)加熱功率的變化來(lái)測量氣體的質(zhì)量流量。 熱式氣體流量計具有如下技術(shù)優(yōu)勢： 傳感器無(wú)活動(dòng)部件和壓感部件，不受震動(dòng)對測量精度的影響，使用壽命長(cháng)，抗震性能好； 安裝維護簡(jiǎn)便。在現場(chǎng)條件允許的情況下，可實(shí)現不停產(chǎn)安裝和維護； 數字化設計。整機數字化電路測量，維護方便、測量準確； 真正的質(zhì)量流量計，對氣體流量測量無(wú)需溫度和壓力補償，可得氣體的標準體積流量或質(zhì)量流量，且測量準確、方便； 較大的量程比?？蓽y量流速低到0.5nm/s和高到100nm/s的氣體，可用于氣體檢漏。
